In der Flugzeugproduktion arbeiteten Ende 1944 5.200 Häftlinge bei ca. 8.000 Gefangenen insgesamt.
Ab 1942 entstanden die ersten Außenlager. In mehreren Todesmärschen wurden im April 1945 die meisten Häftlinge evakuiert. Am Morgen des 9. April 1945 wurden auf ausdrücklichen Befehl Hitlers die Sondergefangenen Bonhoeffer, Canaris, Gehre, Oster und Strünck hingerichtet. Die Sonderhäftlinge Schuschnigg, Schacht, Halder, von Bonin, Müller und von Schlabrendorf wurden am 8./ 9. April abtransportiert.
Am 23. April 1945 befreite die US-Armee Flossenbürg. Im Jahr 1946/1947 fand in Dachau der Flossenbürg-Hauptprozess statt. Es folgten eine Reihe weiterer Prozesse vor dem US Militärgericht.
Im Juni 2006 wurden die noch erhaltenen ehemaligen Gebäude des KZ Flossenbürg zu Baudenkmälern erklärt. Die Ausstellung der KZ-Gedenkstätte in der ehemaligen Wäscherei wurde 2007 eröffnet.